フォトリソグラフィの流れが理解できる｜日本企業が強い分野はこれだ！

フォトリソグラフィとは、感光性のあるレジストを塗布したウエハに、パターンが描写されたマスク越しに光を照射し、回路などのパターンを形成させる技術です。半導体プロセスの中でも、最小加工寸法の微細化おいて非常に重要な工程ですが、レジストや露光機、コーターデベロッパなど、日本企業が非常に強い分野です。